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材料成型新技术论文-溅射镀膜技术简谈,说明书共9页,5115字。
摘要 溅射镀膜技术已经成为当今世界在材料表面形成沉积耐磨,耐蚀,装饰,光学及其他各种功能薄膜的重要手段,其中以磁控溅射镀膜技术的发展尤为引人注目。本文对溅射镀膜技术的发展历史,功能原理,技术特点,应用范围,发展倾向和瓶颈做了简单的介绍。希望溅射镀膜技术能够得到更多的重视和发展。
关键词 溅射镀膜 磁控溅射镀膜 技术特点 应用范围 发展倾向 技术瓶颈
论文大小:78.50KB
论文格式:word
论文专业:材料成型新技术
论文编号:209738
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